내(耐) 증착(Deposition) 성능을 대폭 강화하여 250℃ 고온 환경에서도 사용 가능한

신제품 사파이어 격막진공계 판매를 개시하였습니다!🙌

반도체 제조 장치 전공정(CVD, ALD, 에칭 장치 등)에서 사용하는 진공계는, 진공계의 센서 다이어프램 상에 막이 형성되는 증착(Deposition) 현상이 발생하여 제로점  계측값이 시프트 되는 것이 큰 과제였는데요.

Model V8□은  수압부에 고내식성, 고내열성이면서 기계 특성에도 뛰어난 단결정 사파이어를 사용한 격막진공계입니다. MEMS 가공 기술을 응용하여  증착에 의한 제로점 시프트량을  10분의 1로 대폭 개선했습니다. (당사 다른 제품 대비)

또한, 프로세스 가스의 변화에 따른 고온 환경에서도 사용할 수 있도록  250℃의 고온까지 사용 가능한 분리형을 라인업에 추가하였습니다.

자세한 내용은 한국아즈빌  YouTube 공식 채널에서 영상으로도 확인하실 수 있습니다. 👍